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新式超精密拋光機之矽晶圓拋光特性研究 - 國家圖書館

在傳統的研磨加工中，研磨盤為維持其加工能力以確保工件的品質，必須使用修整機構定期地修整研磨盤表面，這將使其逐漸變薄，最終必失去研磨能力而需更換。

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