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半导体产业链研究：CMP材料和设备迎发展机遇 - Zinvest

钻石碟 （Disk）：主要用于扫过抛光垫表面提高表面粗糙度，除去用过的浆料，提升抛光效率。 图表：CMP设备结构示意图.

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