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奈米級表面脆硬材料基板薄化之研究研究成果報告(精簡版)

多晶鑽石碟進行晶圓薄化製程中的粗磨及細磨實驗，改變實驗參數如刀具進給、刀具與晶. 圓轉速等，發現藉由提升刀具進給與改變加工機台，可有效提升材料移除率各約3.73 ...

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