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固定鑽石線鋸切片後之晶圓基板表面形貌分析及改進 - IR - 台灣 ...

主題：(1)鑽石線表面形貌模擬、(2)鑽石線鋸後之晶圓表面. 擬模、以及(3)單顆鑽石顆粒於線鋸時之切深模擬。此外，一. 小型複線式線鋸機也開發完成以用做未來實驗用途。

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