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多晶鑽石刨平器：拋光墊的精密修整及硬脆材料的延性切割

圖十：現有「鑽石碟」上的鑽石乃立於同一平面(上圖)，因此在拋光墊表面刻劃的切溝深淺不一，這是造成晶圓拋光不均與產品刮裂痕的主要原因。ADD的尖錐切刃 ...

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