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關鍵詞摘要450 mm 晶圓總決戰

鑽石碟 ．精密拋光 ．450 mm 晶圓 ．22 nm 製程. 摘要. 加工的細緻方法為拋光(Polishing)。若加工. 物的面積不大，可以大顆的磨粒快速拋光再以小顆.

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