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鎵鋁
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镓铝双质掺杂提高晶闸管性能的机理研究 - 物理学报
依据Ga,A1 在Si 和SiO2 中的扩散行为和特性,采用SiO2 / Si 系统,利用磁控装置精确控制Ga 掺杂量,实现镓. 铝双质掺杂在同一扩散炉中经一次高温连续完成.
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