SiGe BiCMOS 製程技術幾乎與矽半導體超大型積體電路(VLSI)產業中的所有新技術相容,包括SOI 技術和溝道隔離技術[1]。 實驗證明,SiGe 元件的工作頻率可高達350 GHz[2]; ...
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