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以雙面部分曝光製作封閉型SU-8 具高低差微流道 - 國立交通 ...

構已是熟知技術，在此是進一步結合背向曝光，在玻璃基板上鍍鉻圖案作為背向曝光的 ... 玻璃鍍鉻製程. ... 完全脫落. 大部分脫落. 完整. 完整. 迴轉式震盪器設定70 rpm.

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