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第二章文獻回顧2-1 磁控濺鍍技術

而PVD製程設備可簡略分為蒸鍍(evaporation)、濺鍍. (sputtering deposition)及離子鍍(ion plating)，本實驗製程則以非平衡磁控濺. 鍍方式沉積氮化鈦薄膜於鎂合金上。 1995 ...

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