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陰極電弧沉積技術之簡介 - 大永真空設備

陰極電弧沉積(CAD)，也稱為真空電弧沉積(Vacuum Arc Deposition，VAD)、陰極真空電弧(Cathodic Vacuum Arc，CVA)沉積、陰極電弧蒸鍍法(Cathodic Arc Ion ...

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