智能控制電漿清洗機能直接安裝在客戶端FE-SEM,FIB和STEM的儀器上,主機觸控式介面射方便設定,獨特的等離子強度傳感器實時監測機台狀態。氫等離子體清潔ALD 樣品2至60 ...
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