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鍍膜英文
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... 的碰撞次數,而使得氣體分子離子化的機率大增,便有更多的離子撞擊靶材,濺射出更多的靶原子沉積於基板上,因此磁控濺鍍源(cathode)可大幅提昇濺鍍時的鍍膜速度。
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