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物理蒸鍍之種類依蒸發源分類

依鍍膜成分分類. 2005/4/6. 金屬工業研究發展中心. 2. 依蒸發源分類. ▫ 真空蒸著(Evaporation). ▫ 磁控濺射(Magnetic Sputtering).

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