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霧化化學氣相沉積氧化鋅薄膜於藍寶石單晶

霧化化學氣相沉積法(Mist Chemical Vapor Deposition, Mist-CVD)為一低成本、低危險性、低真空需求、製程簡單之綠色製程技術，此製程技術以超音波震盪將固態價廉的前趨 ...

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