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[問題] 蝕刻鋁(掏空)，不蝕刻"鉻金"合金之溶液- 看板NEMS

想問一下有關於"掏空鋁"的蝕刻液我是用鋁當犧牲層來製作微米懸橋之結構掏空是元件的最後一個步驟其中電極使用的是金鉻合金(Au-98%:Cr-2%) 厚度為70nm.

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