選擇性蝕刻是將光阻上的IC設計圖案轉移到晶圓表面 ... 鋁蝕刻. ▫ 混合溶液加熱到42 到45oC. ▫ 一種範例: 80% 磷酸, 5% 醋酸, 5% 硝酸, 和10 % 水 ... 電漿的成分.
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