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工學院半導體材料與製程設備學程

氧水混合物方式，金屬蝕刻後的聚合物物質將可因為氫氧基與鋁反應產. 生氫氧化鋁物質而去除；而雙氧水將會與鋁 ... 通入氧氣的灰化製程將會與鋁銅金屬形成氧化鋁成分。

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