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TFT-LCD產業磷元素物質流分析模式之建立

使用物料：鋁蝕刻液(Al-Etchant) ，成分含硝酸、磷酸及醋酸. 硝酸與鋁形成氧化鋁 ... 液(Al-Etch). • 製程地圖包含TFT-LCD製程中的薄膜製程及蝕刻製程 ...

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