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氧化铝碳热还原氮化法真空制备氮化铝,Ceramics International

摘要氮化铝具有良好的电学、热学和机械性能，广泛应用于微电子等领域。然而，用于制备AlN 的氧化铝碳热还原氮化(CRN) 方法仍然需要高温。

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