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imec最新成果合金薄膜電阻首度超越銅和釕 - 聯合報

例如，厚度為7.7奈米的鎳鋁二元合金在經過晶粒工程後，可測得的最低電阻為11.5µWcm。這些研究成果是在線寬10奈米以下實現低電阻內連技術的里程碑。 為了跟 ...

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