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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究Electrochemical and ...

本研究銅表面氧化物之相鑑定與沿縱深方向. 之氧化物種類與其厚度分別開發以FTIR 以及陰. 極還原法(圖1)進行量測，另以X 射線光電子能. 譜儀(XPS)進行比對。為求迅速獲得 ...

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