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國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授：劉傳璽博士 ...

層鈦金屬，在不同溫度的快速熱退火之後，量測該電容器的電性與物性。實. 驗結果顯示摻雜鋯後，會使高介電係數介電層在高溫製程後會有結晶的現象.

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