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金屬(鋁)/鐵電薄膜(鐵酸鉍)/絕緣層(氧化釔)/矽結構電容與場效電 ...

在本次研究中，我們製作出鋁(Al)/鐵酸鉍(BFO)/氧化釔(Y2O3)/半導體結構的電容器與場效電晶體。在電容器方面，為了探討BFO薄膜在不同溫度下退火的效果，我們分別施以500 ...

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