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Chapter 1 Introduction 金屬矽化物(Silicide)的技術之所以得到 ...

等五種不同的溫度去anneal，以形成鈷-金屬矽化物（Co-Silicide）. [17]-[19]並測量其片電阻（Sheet Resistance）得到的結果[10][12]。 由圖中我們可以發現，對Si wafer 而 ...

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