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矽鍺半導體材料與鈷矽鍺化合物間相平衡與擴散之探討

本論文第一部份以實驗測定矽鍺鈷系統在700oC 與950℃之三元平衡相圖。此部份的研究中. ，本論文利用粉末X 光繞射(XRD)、電子微探儀(EPMA)及金相觀察等分析方法來測定 ...

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