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华林科纳氮化镓的大面积光电化学蚀刻的实验报告 - 网易

在这封信中，我们报告了使用汞灯曝光和未退火的沉积钛金属接触在大面积上进行的n+、NID和p型掺杂的氮化镓样品的PEC蚀刻。

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