(洩漏量0.03cm /s He以下)可用於真空破壞迴路,如果當作3口閥使用時,4(A)或2(B)孔用塞頭塞住,即可改變成N.O.,N.C.,之3口閥。 無塵室環境中可以使用 因構造上主閥摺動 ...
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