乾蝕刻沒有液態的蝕刻溶液,主要分為物理濺擊或離子銑削、電漿蝕刻、與介於兩者之間 ... fDry Etching基本原理及應用乾蝕刻蝕刻非金屬材質(如SiNx .a-Si及n+ a-Si) PR ...
確定! 回上一頁