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Chap9 蝕刻(Etching)

非等向性蝕刻：薄膜遭受固定方向，尤其是垂直方向的蝕. 刻，所造成的結果 ... 乾式蝕刻的原理 ... 鋁的蝕刻. ◇金屬鋁是現在半導體製程中，最普遍使用的材料。因為鋁.

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