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Ch9 Etching

表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻 ... 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層 ... 硝酸氧化鋁金屬而磷酸同時移除氧化鋁.

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