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生物芯片: 生命信息CPU - 第 94 頁 - Google 圖書結果

光刻过程形成的光刻胶图形就是不怕腐蚀的物质,于是光刻胶下面的金属膜仍然保留下来, ... 的高能气体等离子体,对基底材料的腐蚀效果很好,但是价格比液体腐蚀剂贵很多。

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