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金屬氧化物半導體氣體感測器用材料回顧 - 台灣儀器科技研究中心

金屬氧化 物半導體式氣體感測器具有成本低、壽命長、可微小化、可大量生產、 ... 這個原因係為臭氧直接與金屬氧化物表面相互作用，但不與化學吸附的氧.

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