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銅金屬薄膜之抗氧化保護膜與擴散障礙層膜在極大型積體電路之 ...

關鍵字: 銅金屬薄膜;抗氧化保護膜;擴散障礙層膜;鉻金屬;鉭金屬;鉬金屬;抗銅氧化 ... 氮粒子塞滿晶界的效應應是氮化鉻與氮化鉬膜的障礙能力分別高於鉻與鉬膜的原因。

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