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金屬功函數
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金屬氮化物之功函數調變研究 - 國立交通大學
本論文介紹了氮化鉬和氮化鎢在不同成分比的功函數調變能力. 以及搭配二氧化鉿高介電常數氧化層後的電性結果。試片在含有不同. 氮/氬比例的氣體環境下,以濺鍍沈積方式 ...
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