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金屬功函數
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氮化鉬與氮化鈦堆疊之高功函數堆疊式金屬閘極金氧半元件電性 ...
為了持續元件微縮並提高元件效能,許多新穎的研究成果已被發表出來,其中,高功函數金屬閘極的研究相當引人注目。本研究提出兩種以MoN為主,搭配TiN薄膜的堆疊式金屬閘 ...
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