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量測技術
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晶圓量測與製程控制技術夯先進製程良率再添進程 - SEMI
先進製程的電晶體線寬越來越細,且電晶體結構迅速從 2D 轉向 3D,使得半導體製造商要對電晶體結構、尺寸、薄膜厚度等關鍵參數進行量測, ...
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