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國立陽明交通大學機構典藏：MOCVD線上溫度量測技術開發

本文應用熱輻射理論與相關的量測技術，開發具反射率修正之輻射高溫即時量測系統，並探討低輻射溫度範圍(400-600oC)的量測精確度改善。金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)製程 ...

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