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邑部
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經濟部TREE計畫創新成果豐碩募資超過30億元
其中,由工研院衍生之邑流微測,主要開發半導體線上即時監控機台,可連續監控及預警產線上化學溶劑微汙染情形,提升晶片製造的良率,同時已獲多家海內外 ...
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