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TKS 真空科技- 淺談半導體內連接導線可靠度工程技術

且摻雜物必須在銅導線預清洗後才到達銅導線上端表面,避免於清洗步驟時將其移除;因. 此對此製程的良好控制,對強化銅導線電致遷移可靠度特性極為重要;而在介電覆蓋層高.

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