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金屬化製程

抗反射層鍍膜(ARC). – 減低反射且改進金屬圖案化製程中之微影技. 術的解析度. – 防治小丘狀凸出物的產生並控制電遷移. • 氮化鈦可藉由PVD 和CVD沉積.

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