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先進內連線之新材料與新製程－ 石墨烯和碳奈米管異軍突起

此一態勢的部分原因是為了節省成本（即可重複使用光罩並且避免更複雜的曝光 ... 將此多層SiN蓋層結構與選擇性鈷蓋層結合一起，可提高10倍電遷移壽命。

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