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低成本之UBM沈積技術

以限制電遷移現像(Limit Electro- migration)和控制晶粒成長(Control. Grain Growth)。 ... 液中不含氧化鋅時(ZnO=0g),鋁墊的電 ... 應,一般比鋅沈積反應慢,為了避免鋁.

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