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英特格Entegris 氣體過濾器Gas Filters

英特格(Entegris) 超純氣體過濾產品對於超純氣體應用,提供0.003微米的顆粒過濾。 Wafergard®氣體過濾器可以提供較高的製程氣體的生產量，同時減少整體氣瓶的佔地面積。

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