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第三代半導體——碳化矽材料之製程與分析 - 電子工程專輯

市場上具有SiC晶圓量產能力的公司，仍僅少數幾家而已，其中Wolfspeed (原 ... 整體製程的穩定性及一致性，進入量產階段前還尚有諸多的問題待解決。

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