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半導體微波退火設備開發 - 機械工業網

摘要：若對材料施以正確的電磁波頻率，可對材料於較低溫度完成退火，達到節能減碳的目的。 · Abstract： · 關鍵詞： · 前言 · 矽晶格對電磁波的吸收

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