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退火溫度
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水平爐管個別原理
影響薄膜沈積速率的主要因素為溫度、壓力大小及氣體流量。 薄膜沈積機構發生順序:長晶→晶粒成長→晶 ... 但是若多晶成長溫度夠高,且阻值夠低,則可省去高溫度退火。
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「退火溫度」
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