你即將離開本站

並前往http://khvic.nsysu.edu.tw/khvic/JL/95_RTA_n.htm

快速退火系統

(建議退火溫度小於900 o C，否則載盤會變型損壞。) 瓧 真空度(base pressure)：5E-6 Torr。

確定！ 回上一頁

查詢 「退火溫度」的人也找了：

  1. 退火目的
    2.
  2. 退火原理
    3.
  3. 銅退火溫度
    4.
  4. 退火三階段
    5.
  5. 退火硬度
    6.
  6. 製程退火
    7.
  7. 製程退火目的
    8.
  8. 半導體退火原理
    9.