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腔室/退火温度对Zr:HfO2 铁电电容器耐久特性的影响,Sensors

研究了在原子层沉积(ALD) 工艺中在不同沉积/退火温度下制造的Zr 掺杂HfO 2 (HZO) 基金属-铁电-金属(MFM) 电容器的耐久性特性。ALD工艺中的腔室温度 ...

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