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以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 - 國立交通大學

Crystallization)方式，此方式是使用鎳(Ni)降低製程的溫度以及. 生長時間，原理主要是藉由鎳與矽(Si)之間的反應產生二矽化鎳. (NiSi2)，進行退火後可產生金屬誘發結晶 ...

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